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此设备为天津启诚伟业科技有限公司自主研发的具有显影、蚀刻、去膜、水洗、微蚀、OSP及干燥七种功能,适用于UE工艺,也可作为独立设备使用。
最大加工幅面:305mm×230mm
自主知识产权保护的液封压盖结构
传动方式:垂直往复摆动
最小腐蚀/显影线宽:4mil
最小绝缘宽度:4mil
腐蚀/显影槽喷管数量:前后各6组
腐蚀/显影槽喷嘴排列方式:5/6喷嘴交错排列
腐蚀/显影槽喷淋压力:前后各2kg/cm
药液槽底部有沉积床过滤结构
加热功率:单槽250W,带温控功能
温度范围:20-60℃
产能:10PNL/h
水洗槽为二级水洗加喷淋结构
干燥方式:吸水辊轮挤干及高速风机烘干
电源:220VAC/50Hz
功率:2kW
自主知识产权保护的液封压盖结构
传动方式:垂直往复摆动
最小腐蚀/显影线宽:4mil
最小绝缘宽度:4mil
腐蚀/显影槽喷管数量:前后各6组
腐蚀/显影槽喷嘴排列方式:5/6喷嘴交错排列
腐蚀/显影槽喷淋压力:前后各2kg/cm
药液槽底部有沉积床过滤结构
加热功率:单槽250W,带温控功能
温度范围:20-60℃
产能:10PNL/h
水洗槽为二级水洗加喷淋结构
干燥方式:吸水辊轮挤干及高速风机烘干
电源:220VAC/50Hz
功率:2kW